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15일 머니투데이 보도에 따르면 삼성전자는 최근 고순도 불화수소를 재사용할 수 있는 시스템을 개발해 화성 반도체사업장 1개 라인에서 시범운영하고 있다.
삼성전자는 내부 순환장치를 통해 불화수소를 회수한 뒤 재사용하는 방식을 개발한 것으로 알려졌다.
불화수소는 반도체 불순물을 제거하는 세정액으로 주로 산화막 제거와 금속 오염 제거의 공정에 필요하다. 액체 불화수소는 웨이퍼의 세정에 쓰인다.
일본은 앞서 한국 대법원의 강제징용 배상 판결에 반발해 2019년 7월 고순도 불화수소, 플루오린 폴리이미드, 포토레지스트 등 3개 품목에 대한 한국 수출을 제한한 바 있다.
일본에 의존도가 높은 반도체·디스플레이 분야의 소재 수출을 막아 한국 기업에 타격을 주고 이를 통해 한국 정부와의 외교에서 우위를 점하려는 전략이었다.
하지만 국내 기업들이 재빠른 국산화 등에 나서고 한국 정부도 이를 적극적으로 지원하면서 일본 의존도를 빠르게 벗어나고 있다.
특히 불화수소의 경우 지난해 1년간 우리나라가 일본에서 들여온 반도체 제조용 불화수소 수입액이 2019년보다 75% 급감했다.
이런 상황에서 삼성전자가 불화수소를 재사용 하는 기술을 성공적으로 공정에 적용하면 기존 불화수소 사용량을 줄이고 해외 수입의존도를 더욱 낮출 것으로 기대된다.
삼성전자 관계자는 “재사용 기술을 개발해 현재 일부 테스트 중인 것은 맞다”면서도 “아직까진 전체 설비에 확대할 지 등을 논할 단계가 아니다”라고 말했다.
