이재용 삼성전자 부회장이 지난 6월14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크 ASML CEO와 협력 방안을 논의했다. / 사진=삼성전자

이재용 삼성전자 회장이 16일 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)와 회동하고 양사의 사업협력 방안 등을 모색한다.

재계에 따르면 베닝크 CEO는 이날 경기도 화성에서 열리는 ASML 반도체 클러스터 기공식에 참석한다. ASML이 2024년까지 2400억원을 투자해 화성시 동탄 2신도시 1만6000㎡ 부지에 짓는 '뉴 캠퍼스'는 첨단 노광 장비 재제조시설과 트레이닝센터 등으로 구성됐다.


전날 서울 강남구 코엑스 인터컨티넨탈 호텔에서 열린 간담회에서 베닝크 CEO는 이 회장을 만나냐는 질문에 "우리는 항상 고객을 만난다. 이번에도 정상적으로 만날 것이다"라고 답변했다.

재계는 이날 행사를 전후로 두 사람의 회동이 이뤄질 것으로 보고 있다. 이 회장과 베닝크 CEO가 예정대로 만난다면 지난 6월 이 회장이 유럽 출장 중 ASML 네덜란드 본사를 찾아 회동 한 이후 5개월 만이다.

회동에서는 미래 반도체 기술 트렌드와 반도체 시장 전망, 차세대 반도체 생산을 위한 미세공정 구현에 필수적인 EUV 노광 장비의 원활한 수급 방안, 양사 중장기 사업 방향 등 폭넓은 논의가 오갈 것으로 보인다.


베닝크 CEO는 "사업이나 사업 환경에 대해 광범위한 대화를 많이 한다"며 "수 년 동안 인연을 쌓아 친해져 개인적인 대화도 많이 하고 있다"고 전했다.

네럴란드에 본사를 둔 ASML은 7나노미터(㎚, 1㎚는 10억분의 1m) 이하 초미세 공정에서 필수적인 EUV(극자외선) 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산한다.

1대당 2500억원에 달하는 고가지만 생산 가능 수량이 1년에 약 40대뿐이어서 장비 확보 경쟁이 치열하다. 삼성전자는 지난해부터 비메모리 분야뿐 아니라 메모리 반도체에도 EUV 기술을 적용해 EUV 장비가 필요한 상황이다.

베닝크 CEO는 "한국 고객의 비즈니스가 급격히 성장하고 복잡성이 높아지고 있어 고객사와의 협력이 더욱 중요해졌다"며 한국 반도체 산업과의 협력 확대 의지를 강조했다.