평택시(시장 정장선)와 평택산업진흥원은 반도체 핵심 공정에서 사용되는 공정 가스 저감 기술의 실증과 사업화를 지원하기 위해 '2026년 반도체 공정 가스 저감 실증사업' 참여기업을 오는 6일까지 모집한다고 3일 밝혔다.
이번 사업은 한국생산기술연구원(KITECH)이 추진하는 '지산연 협력기반 기업생태계 전환기술개발사업'과 연계한 실증 단계 사업으로, 지자체-기업-연구기관 간 협력을 통해 기술 신뢰성을 확보하고 향후 공동 연구개발(R&D) 및 중앙부처 지원사업으로의 확장을 도모하는 것을 목표로 한다.
지원 대상은 평택시에 본사, 연구소 또는 공장을 등록한 중소·중견 제조기업으로, 반도체 공정 가스 저감 또는 환경설비 분야의 기술·제품을 보유한 기업이다. 실증 기간에 기술·인력 투입이 가능하고, 한국생산기술연구원과 협력 수행이 가능한 기업이면 신청할 수 있다.
사업 기간은 2026년 4월부터 12월까지이며, 5개 사 내외를 선정할 예정이다.
선정된 기업은 공공 실증 기반시설을 활용해 △공정 가스 저감 성능 △공정 적합성 △연속 운전 안정성 등에 대한 파일럿 규모 실증을 지원받게 된다. 또한 KITECH 연계 기술 자문과 성능 개선 컨설팅, 후속 R&D 및 중앙부처 지원사업 연계 기획 등 기술 고도화 지원도 함께 제공된다.