서울 강남구 삼성전자 서초사옥 딜라이트룸에 전시된 반도체 웨이퍼. /사진=뉴스1
서울 강남구 삼성전자 서초사옥 딜라이트룸에 전시된 반도체 웨이퍼. /사진=뉴스1

삼성전자가 반도체 공정에 사용하던 일본산 액상 고순도 불화수소 일부를 국산소재 등으로 대체했다. 이전까지는 일본정부의 수출규제로 두달 가까이 일본산 고순도 불화수소 공급이 사실상 차단된 상태였다.
이에 삼성전자는 민감도가 낮은 공정에서부터 소재 대체에 나섰다고 밝혔다. 삼성전자는 지난 7월4일부터 일본 정부가 수출규제에 돌입하자 국내 업체가 생산하는 소재 등을 대상으로 대체 여부 등을 테스트해왔다.

고순도 불화수소는 반도체 제조공정에서 실리콘웨이퍼에 새겨진 회로에 따라 불필요한 부분을 제거하는데 사용된다.


한편 삼성전자 외에 LG디스플레이도 최근 국산 불화수소를 디스플레이 제조공정에 투입했다.