SK하이닉스 이천캠퍼스 /사진제공=SK하이닉스

SK하이닉스는 28일 열린 1분기 실적 컨퍼런스콜에서 “연내 EUV를 활용한 4세대 1a 제품 양산에 들어갈 예정이다. EUV가 적용되는 레이어는 첫 제품이라 많지 않다”며 “첫 적용이라 한 레이어에만 적용한다. 이후 1b, 1c 등에서 늘려갈 계획”이라고 밝혔다.
SK하이닉스는 “ASML과 계약을 통해 향후 수년 동안 EUV 장비의 안정적인 도입 가능하도록 했다”며 “기술 첫 적용이라 다양한 불확실성이 예상되나 전담팀 구성해 문제없도록 각고의 노력을 기울이고 있다”고 덧붙였다.